凈化工程要控制溫濕度具體措施有哪些？

       潔凈室的溫濕度主要是根據加工工藝要求來(lái)確定，在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，首選應該考慮人的舒適感。隨著(zhù)空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來(lái)越高，達到定的溫濕度等。例如在大規模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是鈉的半導體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。（凈化工程）

濕度過(guò)高會(huì )產(chǎn)生很多問(wèn)題，相對濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì )結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì )引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。那么凈化工程要控制溫濕度具體有什么措施？下面由科銳特凈化科技有限公司列舉的幾個(gè)控制濕度的方法。（凈化工程）

對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染 侵入，需要保持內部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持般應符合以下原則：

1. 潔凈度別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度別低的空間的壓力。

2. 相通潔凈室工程之間的門(mén)要4開(kāi)向潔凈度別高的房間。

3. 潔凈空間的上海風(fēng)淋室壓力要高于非潔凈空間的壓力。

       壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補償在這壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量 通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。（凈化工層）

對于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內污染的程度，所以主要用換氣次數這概念，而不直接用速度的概念，不過(guò)對室內氣流速度也有如下要求：

    1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。

    2.吹過(guò)水平面的氣流速度（例如側送時(shí)回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這速度般不宜大干0.2m/s。